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2噸每小時(shí)EDI純化水系統(tǒng)半導(dǎo)體超純水方案

1設(shè)備產(chǎn)水水量:預(yù)處理5/小時(shí),一級反滲透純水產(chǎn)量≥3.0噸/小時(shí);二級反滲透純水產(chǎn)量≥2.4/小時(shí);EDI產(chǎn)水量≥2/小時(shí)。

2回收率:預(yù)處理95%;一級70%;二級80%;EDI90%;

3)設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):

滿足實(shí)驗(yàn)室Ⅱ級純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),電導(dǎo)率<1.0μs/cm,總有機(jī)碳(TOC)含量小于50ppb以及細(xì)菌含量低于1CFU/ml。其水質(zhì)可適用于多種需求,從試劑制備和溶液稀釋,到為細(xì)胞培養(yǎng)配備營養(yǎng)液和微生物研究。這種純水可雙蒸而成,或整合RO和離子交換/EDI多種技術(shù)制成,也可以再結(jié)合吸附介質(zhì)和UV燈。

目前世界上比較通用的純水標(biāo)準(zhǔn)主要有以下幾個(gè):國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO),美國臨床病理學(xué)會(CAP)試藥級用水標(biāo)準(zhǔn),美國測試和材料實(shí)驗(yàn)社團(tuán)組織(ASTM),臨床試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)國際委員會(NCCLS),美國藥學(xué)會(USP)等。同時(shí),我國也有相應(yīng)的純水標(biāo)準(zhǔn):中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T 11446-1997和中國國家實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格GB/T 6682-2008等。

4)設(shè)備占地面積:10*5*3.5m(**)

5)設(shè)備電力需求: AC380V±5%,50HZ,85-100kw3P+1N

6)設(shè)備供水要求:≥5/小時(shí)(可通過配置原水箱解決供水量不足問題)

工藝流程

原水(DN40)→進(jìn)水電動閥→原水箱→原水泵→砂濾器→炭濾器→阻垢系統(tǒng)→保安過濾器→ 一級高壓泵→一級RO膜組3.0/H→二級高壓泵→PH調(diào)節(jié)裝置→二級RO膜組2.4/HEDI泵→EDI系統(tǒng)→EDI純水箱→純水泵→用水管道入口(DN25 分配系統(tǒng) →用水點(diǎn)12